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M-805-A-A9-074 AC

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  采用专有防冲撞技术的旋转主轴,速度能够超过30,000rpm
  精密的固定底座机架,XY轴行程超过2米
  结构紧凑的旋转支架,集成了XY和旋转空气轴承轴,并配置了高性能控制部件
  分轴机架,适用于高速、高精度的活动底座系统
  小剖面的XY平面平台,在增加行程的同时不会对性能产生任何不利影响
  紧凑式小剖面单轴平台,分辨率低于1纳米
  用于自动聚焦应用的High Dynamics Z-Axis
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  采用专有防冲撞技术的旋转主轴,速度能够超过30,000rpm
  精密的固定底座机架,XY轴行程超过2米
  结构紧凑的旋转支架,集成了XY和旋转空气轴承轴,并配置了高性能控制部件
  分轴机架,适用于高速、高精度的活动底座系统
  小剖面的XY平面平台,在增加行程的同时不会对性能产生任何不利影响
  紧凑式小剖面单轴平台,分辨率低于1纳米
  用于自动聚焦应用的High Dynamics Z-Axis