M-805-A-A9-074 AC
采用专有防冲撞技术的旋转主轴,速度能够超过30,000rpm
精密的固定底座机架,XY轴行程超过2米
结构紧凑的旋转支架,集成了XY和旋转空气轴承轴,并配置了高性能控制部件
分轴机架,适用于高速、高精度的活动底座系统
小剖面的XY平面平台,在增加行程的同时不会对性能产生任何不利影响
紧凑式小剖面单轴平台,分辨率低于1纳米
用于自动聚焦应用的High Dynamics Z-Axis
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采用专有防冲撞技术的旋转主轴,速度能够超过30,000rpm
精密的固定底座机架,XY轴行程超过2米
结构紧凑的旋转支架,集成了XY和旋转空气轴承轴,并配置了高性能控制部件
分轴机架,适用于高速、高精度的活动底座系统
小剖面的XY平面平台,在增加行程的同时不会对性能产生任何不利影响
紧凑式小剖面单轴平台,分辨率低于1纳米
用于自动聚焦应用的High Dynamics Z-Axis